CVD Tube Furnace Dengan 3 Saluran Gas Float Meters

Ringkasan Produk untuk Tungku CVD 1700C

Fitur tungku CVD yang dikendalikan gas seri 1700C mengintegrasikan dua atau tiga saluran gas, sistem yang dikendalikan gas campuran, tabung keramik alumina tinggi dengan flang penyegelan SS304, dipanaskan oleh batang MoSi2,Tmax 1700 derajat C (1500C di bawah tingkat vakum tinggi). PID penyesuaian diri berbasis mikroprosesor memberikan kontrol yang sangat baik tanpa overshooting dan akurasi +/- 1 °C. Tingkat vakum maksimum dapat dicapai hingga 10E-3 torr dengan pompa vakum molekuler.

Fitur Utama

• Tmax 1700 °C
• Pemanasan listrik, dua zona pemanasan, suhu tinggi, tungku vakum
• Struktur baja ganda, non-Split ruang tungku untuk melindungi kehilangan panas minimal
• Beberapa proses atmosfer dalam satu siklus tersedia
• Max Vacuum level mencapai 10E-3 torr bekerja dengan pompa molekuler
• Kamar yang terisolasi serat dengan elemen pemanas MoSi2 yang kuat memastikan suhu seragam memastikan suhu seragam
• Shimaden PID suhu pengontrol dengan 30 segmen yang dapat diprogram
• Flang pengedap vakum SS304 dengan katup dan tekanan meter termasuk
• Dukungan flanges ganda memberikan penyegelan yang lebih baik dan umur pipa yang lebih lama
• Termokopel tipe B umur panjang
• Sertifikat CE, standar

Ramping, Dwelling, Cooling Curves untuk Pipa Pipa Seri 1700

Langkah-langkah Keamanan

• Dibangun dalam ammeter dan voltmeter ganda untuk pemantauan mudah dan pemecahan masalah.
• Perlindungan overheat mematikan tungku jika suhu berada di luar kisaran yang dapat diterima (lihat manual pengontrol) atau ketika termokopel rusak atau tidak berfungsi
• Perlindungan kegagalan daya melanjutkan operasi tungku segera setelah titik kegagalan ketika daya dipulihkan
• Pengendalian PID yang diatur sendiri berdasarkan mikroprosesor memberikan proses termal yang optimal dengan overshoot minimal

Spesifikasi Teknis

Catatan Aplikasi

• Jangan mengisi gas peledak seperti Hidrogen atau Metana ke tabung tungku tanpa kontrol dan pengawasan keselamatan yang diperlukan
• Kebun tabung 1700C dengan tabung alumina dirancang untuk digunakan di bawah vakum dan tekanan rendah; 0,2 bar / 3 psi / 0,02 MPa
• Untuk meminimalkan tingkat retakan tabung keramik, silakan mengubah posisi (menandai empat titik pada tabung) setiap batch
• Retakan kecil mungkin muncul di permukaan keramik tahan api selama penggunaan yang diperpanjang.

Perbandingan Ukuran