Multi-Zone CVD Tube Furnace workstation terdiri dari multi-heating zone tube furnace, stasiun kontrol aliran gas massa presisi,unit pompa vakum tinggi dan bagian perakitan lainnya seperti tabung tungkuTmax 1200°C, tingkat vakum akhir mencapai 10^-7 torr dengan unit pompa vakum molekuler.Stasiun kontrol aliran gas massa mencampur tiga atau lebih jenis gas bersama-sama dan input gas campuran ke dalam tabung kuarsa atau tabung logam di dalam tungku. Multi-Zone Tube Furnace kompeten untuk percobaan seperti CVD, Diffusion, dan lain-lain termo-perlakuan di bawah status vakum dan perlindungan atmosfer.
Pemandangan depan untuk tungku rotary 1200C
Nomor model. | PTC D120/1000/12/3 |
Zona pemanasan |
Empat zona pemanasan |
Sumber daya listrik | 15KW AC380-415V, 50/60Hz, 3-fase |
Suhu kerja |
Tmax 1200°C (2192°F) |
Pengontrol suhu |
ShimadenPengontrol PID |
Tingkat pemanasan | ≤ 25°C /min |
Termokopel | Jenis N |
Lining ruang | Bahan baku MitsubishiAlumina tinggi 1500# papan serat |
Tabung tungku |
Bahan: Kuarsa atau Logam |
Flang vakum |
Flang penyegelan SS304 |
Tingkat vakum |
Max 10E-7 torr dengan pompa molekul |
Elemen pemanas |
HRE resistance coil wire (kawat kumparan resistensi HRE) |
Informasi pengiriman | Berat: 660 kg W2150xL1200xH1360mm |
Kepatuhan | CE, ISO |
Jaminan | Jaminan terbatas 18 bulan dengan dukungan teknis seumur hidup |
Nama barang | PTC D40/440/12 | PTC D80/440/12 | PTC D100/440/12 |
Panjang pemanasan | 440 mm | 440 mm | 440 mm |
Ukuran tabung | OD40xL800mm | OD80xL1000mm | OD100xL1000mm |
Kekuatan | 4 KW | 7 KW | 8 KW |
Berat bersih | 108 KGS | 275 KGS | 360 KGS |