1700C suhu tinggi 3 zona laboratorium CVD vakum tabung tungku dengan OD60mm tabung alumina

Ringkasan Produk

PTC D60/600/17/3 adalah tungku pipa 60mm OD 3 zona bersertifikat CE dengan flange penyegelan vakum lengkap.Setiap zona pemanasan adalah 12 "panjang dan dikendalikan oleh tiga presisi 30 segmen dari pengontrol suhu digital secara independenSatu zona (zona tengah) dipanaskan oleh unsur Super-1800 MoSi2 hingga 1700 °C, dan dua zona lainnya dipanaskan oleh unsur SiC hingga 1400 °C.Tungku tungku dapat menciptakan berbagai gradien termal dengan menyesuaikan tiga zona suhuIni adalah tungku yang sangat baik untuk mempersiapkan bahan fungsional di bawah gradien termal, dan juga dapat digunakan untuk pertumbuhan film epitaxial oleh CVD.

Fitur Utama

• Kisaran suhu kerja 1200°C-1700°C
• Struktur baja ganda, kehilangan panas minimal; Tiga zona pemanasan, dikendalikan secara independen
• 990,6% tabung aluminium dengan SS304 cepat membuka air pendingin segel flanges
• Elemen pemanas MoSi2 yang kuat memastikan suhu yang seragam
• Ruang terisolasi serat untuk stabilitas suhu maksimum dan keseragaman
• Kontroler digital PID dengan 30 segmen yang dapat diprogram
• Perangkat pasokan gas individu, tersedia pencampuran gas dengan Ar, N2 CO, H2 dll.
• Termokopel tipe B umur panjang
• Sertifikat CE

Langkah-langkah Keamanan

• Dibangun dalam ammeter dan voltmeter ganda untuk pemantauan mudah dan pemecahan masalah.
• Perlindungan overheat mematikan tungku jika suhu berada di luar kisaran yang dapat diterima (lihat manual pengontrol) atau ketika termokopel rusak atau tidak berfungsi dengan baik.
• Perlindungan kegagalan daya melanjutkan operasi tungku segera setelah titik kegagalan ketika daya dipulihkan.
• Pengendalian PID yang diatur sendiri berdasarkan mikroprosesor memberikan proses termal yang optimal dengan overshoot minimal

Rincian produk

1700°C tiga zona suhu tinggi CVD tabung vakum tungku

• Kebun tabung CVD suhu tinggi 1700C terutama terdiri dari lima bagian: tubuh tungku, tabung tungku, aksesoris penyegelan flange, sistem pasokan gas,sistem vakum dan sistem kontrol suhu
• Kerangka baja luar tungku diproses dengan pemanis dan fosfating, lapisan bubuk lingkungan di permukaan, ketahanan korosi dan oksidasi, kipas pendingin internal,Suhu permukaan Rt+45°C
• ISO, CE sesuai

Profil kamar untuk 1700 °C CVD suhu tinggi 3 zona tabung tungku

• Isolasi keramik alumina tinggi, ukiran CNC, dinding ruang yang terikat erat, pemanas MoSi2 tipe U, tahan suhu hingga 1800C
• Panas panjang 600mm, cocok untuk aluminia tabung diameter 60mm.Bagian kritis dari zona pemanasan di dalam tabung tungku dilengkapi dengan colokan tabung keramik, yang dapat secara efektif mencegah panas keluar dan mengurangi kehilangan panas.
• Termokopel tipe B

Flange pembukaan cepat, dukungan tabung tungku, 1/4 "nozzle gas pagoda, unit pompa vakum

• Dilengkapi dengan aksesoris flange pendingin air SS304 yang dapat dibuka dengan cepat untuk bahan yang cepat dimuat dan diunggah, disegel dengan cincin penyegelan karet fluorine tahan suhu tinggi
• Inlet dan outlet udara mengadopsi G1 / 4 inci pagoda nozzle udara, yang dapat terhubung ke pipa PTFE dengan diameter luar 8mm.
• Terhubung unit pompa molekul dengan KF25, pastikan tingkat vakum mencapai 10 *-5mbar

Program Pemanasan untuk 1700 ° C CVD TEMPORAL HIGH 3 ZONES TUBE OVEN

• 30 segmen yang dapat diprogram, kecepatan pemanasan 1-10C/menit diatur secara bebas
• Isolasi termal yang baik, pendinginan alami, pendinginan perlahan
• 7 "panel layar sentuh opsional, program pemanasan dapat ditampilkan tepat waktu, dan diunduh

TSpesifikasi teknis

Catatan Aplikasi

• Tekanan tabung pengolahan harus lebih rendah 0,02MPa
• Sumber gas harus dilengkapi katup pengurangan tekanan
• Sebelum mengisi gas reduksi seperti H2, harus memompa udara keluar dari tabung
• Ketika mengisi gas dari gas masuk ke tabung, harus memastikan katup gas keluar terbuka

Perbandingan Ukuran