1700C CVD 3-zone Vacuum Tube Furnace dengan MFC Gas Mixer dan Unit Pompa Molekuler

Ringkasan Produk

PT D80/1500/17/3 adalah oven tabung vakum tinggi CVD tiga zona suhu tinggi. tabung alumina OD80mm, panjang pemanasan 1500mm. Dilengkapi dengan pompa molekuler dengan tingkat vakum hingga 10-5torr,3 saluran MFC pencampuran gas yang terkontrol dengan tepat. 304SS flang pendingin air dengan katup jarum dan gauge, beberapa inlet udara dan outlet untuk berbagai gas.Ini mengadopsi sistem kontrol suhu PID Yudian yang berbasis mikroprosesor dengan akurasi kontrol suhu +/- °C, MoSi2 batang dipanaskan, suhu Max dapat mencapai 1700 ° C (1500 ° C di bawah vakum tinggi).lapisan film tipis vakum, percobaan CVD dll.

Fitur Utama

• Tmax 1700°C
• 3 zona pemanasan vakum tinggi, tungku CVD
• Struktur baja ganda, kehilangan panas minimal
• Unit pompa molekuler, tingkat vakum maksimum hingga 10-5 torr
• Mesin pencampur gas 3 saluran yang dikendalikan MFC
• Kamar terisolasi serat dengan elemen pemanas MoSi2 untuk stabilitas suhu maksimum dan keseragaman
• 304SS air pendingin disegel flanges
• Kontroler PID digital dengan 30 segmen yang dapat diprogram dengan akurasi +/-1°C
• Termokopel tipe B
• ISO, CE

Langkah-langkah Keamanan

• Dibangun dalam ammeter dan voltmeter ganda untuk pemantauan mudah dan pemecahan masalah.
• Perlindungan overheat mematikan tungku jika suhu berada di luar kisaran yang dapat diterima (lihat manual pengontrol) atau ketika termokopel rusak atau tidak berfungsi dengan baik.
• Perlindungan kegagalan daya melanjutkan operasi tungku segera setelah titik kegagalan ketika daya dipulihkan.
• Pengendalian PID yang diatur sendiri berdasarkan mikroprosesor memberikan proses termal yang optimal dengan overshoot minimal

Rincian produk

1700°C CVD 3 Zone Vacuum Tube Furnace dengan MFC Gas Mixer dan Peralatan Pendingin Air

• PT D80/1500/17 terutama terdiri dari tujuh bagian: badan tungku, tabung tungku, aksesoris penyegelan flange, sistem pasokan gas, sistem pendinginan air,sistem pompa vakum dan sistem kontrol suhu
• Kerangka baja luar tungku diproses dengan pemanis dan fosfating, lapisan bubuk lingkungan di permukaan, ketahanan korosi dan oksidasi, kipas pendingin internal,Suhu permukaan Rt+45°C
• Penampilan yang indah, ISO, CE

Profil ruang untuk CVD 1700°C 3 zona tungku vakum tinggi

• Isolasi keramik alumina tinggi, ukiran CNC, dinding ruang yang terikat erat, pemanas MoSi2 tipe U, tahan suhu hingga 1800C
• Panas panjang 600mm, cocok untuk aluminia tabung diameter 60mm.Bagian kritis dari zona pemanasan di dalam tabung tungku dilengkapi dengan colokan tabung keramik, yang dapat secara efektif mencegah panas keluar dan mengurangi kehilangan panas
• Termokopel tipe B

Flange pendingin air, 1/4 "nozzle gas pagoda, Unit pompa vakum molekuler

• Dilengkapi dengan set flange pendingin air SS304, disegel dengan cincin penyegelan karet fluorine tahan suhu tinggi
• Inlet udara dan outlet mengadopsi G1 / 4 inci pagoda nozzle udara yang dapat dihubungkan ke pipa PTFE dengan diameter luar 8mm
• Terhubung unit pompa molekul dengan KF25, pastikan tingkat vakum mencapai 10 *-5mbar

Program Pemanasan untuk 1700 ° C CVD TEMPORAL HIGH 3 ZONES TUBE OVEN

• 30 segmen yang dapat diprogram, kecepatan pemanasan 1-10C/menit diatur secara bebas
• Isolasi termal yang baik, pendinginan alami, pendinginan perlahan
• 7 "panel layar sentuh opsional, program pemanasan dapat ditampilkan tepat waktu, dan diunduh

TSpesifikasi teknis

Catatan Aplikasi

• Tekanan tabung pengolahan harus lebih rendah 0,02MPa
• Sumber gas harus dilengkapi katup pengurangan tekanan
• Sebelum mengisi gas reduksi seperti H2, harus memompa udara keluar dari tabung
• Ketika mengisi gas dari gas masuk ke tabung, harus memastikan katup gas keluar terbuka

Perbandingan Ukuran